EMI Cancellation system
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SC26
SC26 Magnetic Field Cancelling System
Wafer transport robots in 300mm wafer fabs. make 9 kHz fields that limit the performance of electron beam tools and are a barrier to achieving the next semiconductor CD node. The SC26 is a wide bandwidth system that can cancel magnetic fields from DC to above 9 kHz. To achieve its wide bandwidth, the SC26 uses low inductance field cancelling cables, installed in the electron beam tool enclosure.
The SC26 has inputs for two 200 kHz AC field sensors (blue) that it can mix to optimise the electron beam tool performance. These provide useful cancelling down to 10 Hz.Cancelling can be extended down to DC by adding a “Sensor SC24/DC+AC” and a sensor combiner for each input channel used.
(Note: The SC26 cannot be used with larger cables in a “room” installation like our SC24 system which operates at lower frequencies.)
SC26 Features
▶ Makes the ambient magnetic field “OK” for electron beam tools in 300 mm wafer fabs
▶ Real time, wideband cancelling from DC to > 9 kHz fields
▶ Adapts to field amplitude and frequency changes within 10 μs
▶ Real time, wideband cancelling from DC to > 9 kHz fields
▶ Adapts to field amplitude and frequency changes within 10 μs
▶ Touch screen intelligent user interface with automatic setup and DC reset
▶ Simultaneous AC & DC field display with choice of Tesla or Gauss units
▶ Mixes dual sensors to create virtual sensor “inside” the EM column
▶ Built-in test field generator
▶ Ethernet and USB ports for remote operation and monitoring
SC26 자기장 캔슬러
300mm 웨이퍼 팹내의 웨이퍼 이송 로봇은 약 9kHz 대역의 자기장을 발생시키며, 이는 전자빔 장비의 성능을 제한하고 차세대 반도체 CD 노드 달성에 걸림돌이 됩니다. SC26은 DC부터 9kHz 이상의 고주파수 자기장까지 상쇄할 수 있는 광대역 시스템입니다. 이러한 광대역 성능을 구현하기 위해 SC26은 장비 인클로저(Enclosure) 내부에 설치되는 로우인덕턴스 전용 케이블을 사용합니다.
SC26은 전자빔 장비의 성능 최적화를 위해 두 개의 200kHz AC 자기장 센서 입력을 지원하며, 이를 믹싱하여 사용할 수 있습니다. 이 센서들은 10Hz까지 효과적인 상쇄 기능을 제공하며, 각 입력 채널에 'Sensor SC24/DC+AC'와 센서 컴바이너를 추가하면 DC 영역까지 상쇄 범위를 확장할 수 있습니다.
(참고: SC26은 고주파수 대응을 위해 설계되었으므로, 저주파수에서 작동하는 SC24 시스템과 같이 넓은 실내(Room) 단위의 대형 케이블 설치에는 사용되지 않습니다.)
주요 특징
▶ 300mm 웨이퍼 팹 내 전자빔 장비 운용을 위한 최적의 자기장 환경 조성
▶ DC부터 9kHz 이상의 고주파 영역까지 지원하는 실시간 광대역 상쇄 기술
▶ 자기장 진폭 및 주파수 변화에 대해 10μs(마이크로초) 이내의 초고속 대응
▶ 자동 설정 및 DC 리셋 기능을 갖춘 터치스크린 지능형 인터페이스
▶ AC 및 DC 자기장 동시 표시 (단위: Tesla 또는 Gauss 선택 가능)
▶ 듀얼 센서 믹싱 기술로 현미경 내부(Column) 가상 센서 모드 지원
▶ 자체 테스트 필드 생성 기능 내장
▶ 원격 조작 및 모니터링을 위한 이더넷(Ethernet) 및 USB 포트 탑재
