SC28 monitoring system

The SC28 monitoring system is purpose-designed to monitor the environment for electron beam instruments, including Scanning Electron Microscopes (SEM), Transmission Electron Microscopes (TEM), Electron Beam Lithography tools and CDSEM tools.  

It can log the spectrum and charts of ambient magnetic fields, vibrations, acoustic levels, temperature and relative humidity. It measures the magnetic fields, vibrations and acoustic levels at a frequency of 2 kHz and temperature/humidity at 1Hz or below. Measurements are taken continuously, with no gaps, so that no event is missed.

The SC28 software runs on a Windows PC that is connected to the same Local Area Network as the SC28/SI. It automatically detects the SC28/SI hardware without needing to know its IP address in advance. The SCplot program is included with the SC28 software and allows you to view and print results as well as save graphs for use in reports.

Features

▶ Long term monitoring of the room environment for electron beam instruments, including SEM, TEM, Electron Beam Lithography tools and SEM-based metrology and inspection tools

▶ Continuously measures Magnetic fields, Floor vibration in 3 axes, Acoustic levels at 2kHz, and Temperature/Humidity at 1Hz 

▶ Inputs for 1 x 3-axis magnetic field sensor, 3 x Wilcoxon 731A accelerometers, Br?el & Kjær precision microphone, Temperature/Humidity sensor, and one BNC AUX

▶ Up to 14 different graphs may be displayed giving simultaneous display of the data as it is acquired

▶ Acquires sensor data and logs spectra and charts to date-stamped files

▶ Headless - Can run without user interface open

▶ Compares environment to specifications with PASS/FAIL indication

▶ Sends signal to a traffic light or sends email if offline or out-of-spec

SC28 환경 모니터링 시스템

SC28은 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM), 전자빔 리소그래피 및 CD-SEM 등 정밀 전자빔 장비의 운용 환경을 감시하기 위해 설계된 전용 시스템입니다.

주변 자기장, 진동, 소음(Acoustic), 온도 및 상대 습도의 스펙트럼과 차트를 실시간으로 기록합니다. 자기장, 진동, 소음은 2kHz의 고주파수로 측정하며, 온도와 습도는 1Hz 이하로 모니터링합니다. 모든 측정은 공백 없이 연속적으로 이루어지므로, 장비 성능에 영향을 줄 수 있는 단 한 번의 이벤트도 놓치지 않고 포착합니다.

SC28 소프트웨어는 장치(SC28/SI)와 동일한 로컬 네트워크(LAN)에 연결된 윈도우 PC에서 실행됩니다. 하드웨어를 자동으로 감지하므로 IP 주소를 미리 알 필요가 없어 설치가 간편합니다. 또한, 기본 제공되는 SCplot 프로그램을 통해 측정 결과의 조회 및 인쇄는 물론, 보고서용 그래프 저장까지 편리하게 수행할 수 있습니다.

주요특징

▶ SEM, TEM, 전자빔 리소그래피, SEM 기반 계측 및 검사 장비 설치 공간의 장기적 환경 모니터링

▶ 자기장, 3축 바닥 진동, 소음(2kHz) 및 온도/습도(1Hz)의 연속 측정

▶ 전용 센서 지원: 3축 자기장 센서, Wilcoxon 731A 가속도계(3개), Br?el & Kjær 정밀 마이크로폰, 온습도 센서, BNC 보조 입력(AUX)

▶ 데이터 획득과 동시에 최대 14개의 차트를 실시간으로 화면에 표시

▶ 센서 데이터를 수집하고 스펙트럼 및 차트를 날짜별 파일로 자동 기록

▶ 헤드리스(Headless) 모드 지원: 사용자 인터페이스를 열지 않고도 백그라운드에서 상시 작동

▶ 설정된 사양과 환경 데이터를 비교하여 합격/불합격(PASS/FAIL) 판정 제공

▶ 장비 오프라인 또는 환경 사양 초과 시 경고등(Traffic Light) 신호 송신 및 이메일 알림 기능